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日本松定高壓電源HECA系列
型號(hào)：HECA系列
品牌：日本松定電源[鵬控代理]
產(chǎn)品說(shuō)明

HECAシリーズ

靜電チャック専用高圧電源

極性反転や交流波形によるスムーズなウエハーの剝離が可能です。単極式(2ch)、雙極式いずれにも対応できオプションでRFフィルターを內(nèi)蔵できます。

·  靜電チャック専用設(shè)計(jì)。

·  2ch出力內(nèi)蔵（1kV to 5kVタイプ）。

·  両極性出力。

·  RFフィルタ?jī)?nèi)蔵可能（オプション）。

·  電子切換で高速?gòu)甏黏饪赡埽?span lang="EN-US">10ms）。

·  リレーがないので高信頼、長(zhǎng)壽命。

出　力

モデル名

電　圧[kV]

電　流[mA]

リップル[%ms]

±1

6

0.1

HECA-1B6×2

30

0.1

HECA-1B30×2

±3

2

0.1

HECA-3Ｂ2×2

10

0.1

HECA-3Ｂ10×2

±5

1

0.1

HECA-5Ｂ1×2

6

0.1

HECA-5Ｂ6×2

±10

0.5

0.1

HECA-10B0.5

3

0.1

HECA-10B3

 

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