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日本松定高壓電源HCU系列

型號：HCU系列

品牌：日本松定電源[鵬控代理]

產(chǎn)品說明

HCUシリーズ

靜電チャック専用高圧電源

HCUシリーズは、靜電チャック専用として開発された高圧電源です。DC ON/OFFによるチャックのON/OFFの他、チャックOFFの際、極性を反転させてスムーズにウエハーを剝離させることが可能です。

· 靜電チャック専用設計

· ＋、－2出力タイプ

· 極性反転機能、強制接地機能によるスムーズな剝離

· RFフィルター內(nèi)蔵

· ローカル、リモート、RS232Cで操作可能

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